くわしいないよう - 伊那市立図書館・WEB-OPAC

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タイトル	真空ハンドブック
タイトルヨミ	ｼﾝｸｳﾊﾝﾄﾞﾌﾞｯｸ
著者	アルバック／編
著者ヨミ	ｱﾙﾊﾞｯｸ
出版者	オーム社
出版者ヨミ	ｵｰﾑｼｬ
本体価格	9500
内容紹介	半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した９２年刊の新版。
ＩＳＢＮ	4-274-08727-1
ページ数等	331p
大きさ	27cm
NDC分類	534.93

ばんごう	かん	ばしょ	きごう	しりょうくぶん	きんたい	しりょうじょうたい
011108769	伊那	閉架Ａ	534.9 ｼﾝ	一般書	貸出可

よやくのかず 0けん