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じょうほう

もっとくわしいないよう
タイトル 真空ハンドブック
タイトルヨミ ｼﾝｸｳ ﾊﾝﾄﾞﾌﾞｯｸ
著者 アルバック／編
著者ヨミ ｱﾙﾊﾞｯｸ
出版者 オーム社
出版者ヨミ ｵｰﾑｼｬ
本体価格 9500
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した９２年刊の新版。
ＩＳＢＮ 4-274-08727-1
ページ数等 331p
大きさ 27cm
NDC分類 534.93
待機中

しょぞう

ばんごう かん ばしょ きごう しりょうくぶん きんたい しりょうじょうたい
011108769 伊那 閉架Ａ 534.9 ｼﾝ 一般書 貸出可
よやくのかず 0けん
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