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タイトル 真空ハンドブック
タイトルヨミ シンクウ ハンドブック
著者 アルバック/編
著者ヨミ アルバック
著者標目(漢字形(西洋人以外の統一形)) アルバック
著者標目(著者紹介) 【備考】1952年創業,2001年7月現名に改称
記述形典拠コード 210000934030000
件名標目(漢字形) 真空技術-便覧
件名標目(カタカナ形) シンクウ ギジュツ-ベンラン
件名標目(典拠コード) 511006910020000
出版者 オーム社
出版者ヨミ オームシャ
出版者・頒布者等標目(ローマ字形) Omusha
出版者・頒布者等標目(漢字形) オーム社
累積注記  付:表(4枚)
本体価格 9500
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
ジャンル名 技術・テクノロジー(01)
ISBN 4-274-08727-1
ISBNに対応する出版年月 2002.7
TRCMARCNo. 02035408
Gコード 31004294
出版年月,頒布年月等 200207
出版者・頒布者等標目(出版者コード) 0742
出版者典拠コード 310000163040000
ページ数等 331p
大きさ 27cm
別置記号 参考図書(R)
NDC8版 534.93
NDC分類 534.93
図書記号
『週刊新刊全点案内』号数 1283
版表示 新版
ストックブックスコード ストックブックス(SB)
出版国コード 日本国(JP)
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