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タイトル 真空ハンドブック
タイトルヨミ シンクウ ハンドブック
著者 アルバック/編
著者ヨミ アルバック
著者標目(漢字形(西洋人以外の統一形)) アルバック
著者標目(著者紹介) 【備考】1952年創業,2001年7月現名に改称
記述形典拠コード 210000934030000
件名標目(漢字形) 真空技術-便覧
件名標目(カタカナ形) シンクウ ギジュツ-ベンラン
件名標目(典拠コード) 511006910020000
出版者 オーム社
出版者ヨミ オームシャ
出版者・頒布者等標目(ローマ字形) Omusha
出版者・頒布者等標目(漢字形) オーム社
累積注記  付:表(4枚)
本体価格 9500
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
ジャンル名 技術・テクノロジー(01)
ISBN 4-274-08727-1
ISBNに対応する出版年月 2002.7
TRCMARCNo. 02035408
Gコード 31004294
出版年月,頒布年月等 200207
出版者・頒布者等標目(出版者コード) 0742
出版者典拠コード 310000163040000
ページ数等 331p
大きさ 27cm
別置記号 参考図書(R)
NDC8版 534.93
NDC分類 534.93
図書記号 シ
『週刊新刊全点案内』号数 1283
版表示 新版
ストックブックスコード ストックブックス(SB)
出版国コード 日本国(JP)
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