| タイトル | よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み |
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| タイトルヨミ | ﾖｸ ﾜｶﾙ ｻｲｼﾝ ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ﾉ ｷﾎﾝ ﾄ ｼｸﾐ |
| サブタイトル | ファブから検査まで製造装置を俯瞰する |
| サブタイトルヨミ | ﾌｧﾌﾞ ｶﾗ ｹﾝｻ ﾏﾃﾞ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ｵ ﾌｶﾝ ｽﾙ |
| サブタイトル | 製造技術の神髄 |
| サブタイトルヨミ | ｾｲｿﾞｳ ｷﾞｼﾞｭﾂ ﾉ ｼﾝｽﾞｲ |
| シリーズ名 | 図解入門 |
| シリーズ名標目(カタカナ形) | ｽﾞｶｲ ﾆｭｳﾓﾝ |
| シリーズ名標目(原綴形(全部欧文の場合)) | Visual Guide Book |
| シリーズ名標目(アルファベット・数字を含むカタカナ形) | Visual Guide Book |
| シリーズ名 | Visual Guide Book |
| シリーズ名標目(カタカナ形) | ｳﾞｨｼﾞｭｱﾙ ｶﾞｲﾄﾞﾌﾞｯｸ |
| シリーズ名関連情報 | How‐nual |
| シリーズ名関連情報標目(カタカナ形) | ﾊｳﾆｭｱﾙ |
| シリーズ名関連情報標目(原綴形(全部欧文の場合)) | How‐nual |
| シリーズ名関連情報標目(アルファベット・数字を含むカタカナ形) | How nual |
| 著者 | 佐藤 淳一／著 |
| 著者ヨミ | ｻﾄｳ,ｼﾞｭﾝｲﾁ |
| 著者標目(漢字形(西洋人以外の統一形)) | 佐藤 淳一 |
| 著者標目(付記事項(生没年)) | 1954〜 |
| 著者標目(著者紹介) | 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
| 件名標目(漢字形) | 半導体 |
| 件名標目(カタカナ形) | ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ |
| 出版者 | 秀和システム |
| 出版者ヨミ | ｼｭｳﾜ ｼｽﾃﾑ |
| 出版者・頒布者等標目(漢字形) | 秀和システム |
| 本体価格 | ¥2000 |
| 内容紹介 | 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| ジャンル名 | 技術・テクノロジー（01） |
| ジャンル名(図書詳細) | 電子・半導体（120080080000） |
| ＩＳＢＮ(13桁) | 978-4-7980-6037-8 |
| ＩＳＢＮ | 4-7980-6037-8 |
| TRCMARCNo. | 19053863 |
| 出版地,頒布地等 | 東京 |
| 出版年月,頒布年月等 | 2019.12 |
| ページ数等 | 261p |
| 大きさ | 21cm |
| 装丁コード | ソフトカバー（10） |
| NDC8版 | 549.8 |
| NDC分類 | 549.8 |
| 図書記号 | ｻﾖ |
| 利用対象 | 一般（L） |
| 書誌・年譜・年表 | 文献:p261 |
| 『週刊新刊全点案内』号数 | 2139 |
| 版表示 | 第3版 |
| ストックブックスコード | 注目の１冊☆（SS1） |
| テキストの言語 | 日本語（jpn） |
| 索引フラグ | 1 |