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資料情報
| タイトル | よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み |
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| タイトルヨミ | ﾖｸ ﾜｶﾙ ｻｲｼﾝ ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ﾉ ｷﾎﾝ ﾄ ｼｸﾐ |
| サブタイトル | ファブから検査まで製造装置を俯瞰する |
| サブタイトルヨミ | ﾌｧﾌﾞ ｶﾗ ｹﾝｻ ﾏﾃﾞ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ｵ ﾌｶﾝ ｽﾙ |
| サブタイトル | 製造技術の神髄 |
| サブタイトルヨミ | ｾｲｿﾞｳ ｷﾞｼﾞｭﾂ ﾉ ｼﾝｽﾞｲ |
| 著者 | 佐藤 淳一／著 |
| 著者ヨミ | ｻﾄｳ,ｼﾞｭﾝｲﾁ |
| 出版者 | 秀和システム |
| 出版者ヨミ | ｼｭｳﾜ ｼｽﾃﾑ |
| 本体価格 | ¥2000 |
| 内容紹介 | 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| ページ数等 | 261p |
| 大きさ | 21cm |
| NDC分類 | 549.8 |
所蔵情報
| 登録番号 | 所蔵館 | 所蔵場所 | 請求記号 | 資料区分 | 禁帯区分 | 資料状態 |
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| 00247908 | 駒ヶ根 | 技術 | 549 ｻ | 一般書 | 貸出中 |
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